在晶圆片上沉积薄膜的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510115502.X

申请日：

2005-11-04

公开(公告)号：

CN1769516A

公开(公告)日：

2006-05-10

发明(设计)人：

林弘周李相奎徐泰旭张镐承

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

C23C1630

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-07-05	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-05-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2006-05-10	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆薄膜沉积装置 [P].

张艳喆 ;

刘健 ;

李培培 ;

戚艳丽 .

中国专利 :CN114318305A ,2022-04-12

[2]

在晶圆上沉积薄膜的反应器 [P].

韩昌熙 ;

李昊荣 ;

朴相俊 ;

许真弼 ;

安铁贤 ;

李晶桓 .

中国专利 :CN101755073A ,2010-06-23

[3]

一种用于在晶圆上沉积薄膜的设备 [P].

梁小明 .

中国专利 :CN112921283A ,2021-06-08

[4]

用于在晶圆沉积薄膜的设备 [P].

陈泳 .

中国专利 :CN110246788A ,2019-09-17

[5]

在晶圆上沉积薄膜的装置与方法以及进行填隙沟渠的方法 [P].

朴相俊 ;

韩昌熙 ;

李昊荣 ;

郑成会 .

中国专利 :CN101809711A ,2010-08-18

[6]

一种在弯曲晶圆上沉积薄膜的方法及设备 [P].

孙冉 .

中国专利 :CN119663246A ,2025-03-21

[7]

沉积薄膜制程中的晶圆承载装置 [P].

陈汉阳 .

中国专利 :CN201236206Y ,2009-05-13

[8]

在晶片上沉积薄膜的方法 [P].

朴永薰 ;

李相奎 ;

徐泰旭 ;

张镐承 .

中国专利 :CN100452297C ,2006-10-04

[9]

一种用于在晶圆表面沉积薄膜的炉管 [P].

耿晨晨 ;

林晓涵 ;

焦圣杰 ;

田志辉 ;

杨涛 .

中国专利 :CN220537910U ,2024-02-27

[10]

晶圆承载盘及应用晶圆承载盘的薄膜沉积装置 [P].

林俊成 ;

王俊富 .

中国专利 :CN114959654B ,2024-01-09

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