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热处理装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411854137.3
申请日：
2024-12-16
公开(公告)号：
CN119673824A
公开(公告)日：
2025-03-21
发明(设计)人：
金鑫明 李福洪 刘春峰 石岱 曹红波
申请人：
北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
G01K11/125
代理机构：
北京易光知识产权代理有限公司 11596
代理人：
阎敏;陈晓欣
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-08 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241216
2025-03-21 公开 公开
共 50 条
[1]
热处理方法及热处理装置 [P]. 
河原崎光 .
中国专利 :CN109817550A ,2019-05-28
[2]
热处理方法及热处理装置 [P]. 
户部龙太 ;
北泽贵宏 .
中国专利 :CN115513088A ,2022-12-23
[3]
热处理方法及热处理装置 [P]. 
繁桝翔伍 ;
加藤慎一 .
日本专利 :CN113574635B ,2025-01-14
[4]
热处理装置及热处理方法 [P]. 
伊藤祯朗 .
中国专利 :CN109755158A ,2019-05-14
[5]
热处理装置以及热处理方法 [P]. 
北泽贵宏 ;
小野行雄 ;
中岛往马 .
中国专利 :CN114846579A ,2022-08-02
[6]
热处理方法以及热处理装置 [P]. 
青山敬幸 .
中国专利 :CN106469649B ,2017-03-01
[7]
热处理方法及热处理装置 [P]. 
繁桝翔伍 ;
加藤慎一 .
中国专利 :CN113574635A ,2021-10-29
[8]
热处理装置以及热处理方法 [P]. 
北泽贵宏 ;
小野行雄 ;
中岛往马 .
日本专利 :CN114846579B ,2025-12-16
[9]
热处理方法以及热处理装置 [P]. 
上野智宏 ;
北泽贵宏 ;
野崎仁秀 .
中国专利 :CN112420498A ,2021-02-26
[10]
热处理方法及热处理装置 [P]. 
秋吉克一 ;
大森麻央 ;
池田真一 .
中国专利 :CN110211895A ,2019-09-06
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