混酸喷淋蚀刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510340994.X

申请日：

2025-03-21

公开(公告)号：

CN119852218A

公开(公告)日：

2025-04-18

发明(设计)人：

王炫铭王静王伟

申请人：

苏州安田丰科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区科灵路78号苏州高新软件园7号楼1楼101-13室

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

苏州睿翼专利代理事务所(普通合伙) 32514

代理人：

李慧敏

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-17	授权	授权
2025-04-18	公开	公开
2025-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250321

共 50 条

[1]

混酸喷淋蚀刻机 [P].

王炫铭 ;

王静 ;

王伟 .

中国专利 :CN119852218B ,2025-06-17

[2]

喷淋蚀刻机 [P].

蒲中军 ;

邓飞 ;

徐晓君 ;

王川 ;

吴永寿 ;

宣继 ;

李政昊 ;

王月利 ;

钟耀 ;

邓欢 .

中国专利 :CN104445969A ,2015-03-25

[3]

喷淋蚀刻机 [P].

蒲中军 ;

邓飞 ;

徐晓君 ;

王川 ;

吴永寿 ;

宣继 ;

李政昊 ;

王月利 ;

钟耀 ;

邓欢 .

中国专利 :CN204174097U ,2015-02-25

[4]

喷淋蚀刻机 [P].

顾叶锋 ;

王娟 ;

吴蕴瑶 .

中国专利 :CN214937812U ,2021-11-30

[5]

顶喷式喷淋蚀刻机 [P].

蒲中军 ;

邓飞 ;

徐晓君 ;

吴华毅 ;

王川 ;

宣继 ;

李政昊 ;

郭继永 ;

邓欢 .

中国专利 :CN106186712A ,2016-12-07

[6]

一种喷淋蚀刻机 [P].

沈慕禹 .

中国专利 :CN207619529U ,2018-07-17

[7]

五金喷淋蚀刻机 [P].

邹力 .

中国专利 :CN308446185S ,2024-01-30

[8]

喷淋蚀刻系统 [P].

王秋旺 ;

辛菲 ;

马挺 ;

李雄辉 ;

邓天瑞 .

中国专利 :CN108034946B ,2018-05-15

[9]

喷淋蚀刻装置 [P].

竹内一马 ;

水谷龙也 ;

林田哲夫 .

中国专利 :CN107710389A ,2018-02-16

[10]

蚀刻喷淋装置 [P].

杨府 .

中国专利 :CN203896601U ,2014-10-22

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