一种减少母液残留的液相外延石墨舟及生长方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411876898.9

申请日：

2024-12-19

公开(公告)号：

CN119824525A

公开(公告)日：

2025-04-15

发明(设计)人：

黄晟黄立张冰洁彭清琪赵超禹

申请人：

武汉高芯科技有限公司

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区黄龙山南路6号2号楼

IPC主分类号：

C30B19/06

IPC分类号：

代理机构：

北京汇泽知识产权代理有限公司 11228

代理人：

郑飞;吴俣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 19/06申请日:20241219
2025-04-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法 [P].

田震 ;

周立庆 ;

马建立 ;

胡尚正 .

中国专利 :CN102995115B ,2013-03-27

[2]

水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法及生长方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114934317A ,2022-08-23

[3]

减少表面缺陷的水平液相外延石墨舟以及水平液相外延生长方法 [P].

黄晟 ;

黄立 ;

张冰洁 ;

彭清琪 .

中国专利 :CN118910719A ,2024-11-08

[4]

水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法和生长方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112080796B ,2020-12-15

[5]

水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法和生长方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN111962146A ,2020-11-20

[6]

一种防止母液残留的水平液相外延石墨舟及方法 [P].

王长浩 ;

张娟 ;

陈民 ;

孙权志 ;

魏彦锋 .

中国专利 :CN121228347A ,2025-12-30

[7]

能减少表面宏观波纹的水平液相外延石墨舟以及水平液相外延生长方法 [P].

黄晟 ;

黄立 ;

张冰洁 ;

彭清琪 .

中国专利 :CN118910718A ,2024-11-08

[8]

一种防止母液粘舟的液相外延石墨舟 [P].

邓惠勇 ;

王奇伟 ;

戴宁 .

中国专利 :CN101225542A ,2008-07-23

[9]

一种防止母液大面积残留的液相外延石墨舟 [P].

王奇伟 ;

于清华 ;

何家玉 ;

邓惠勇 ;

戴宁 .

中国专利 :CN101586252B ,2009-11-25

[10]

多片式薄膜垂直液相外延的石墨舟、生长装置及生长方法 [P].

田震 ;

宋淑芳 ;

殷雪 .

中国专利 :CN112160024A ,2021-01-01

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