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一种防止母液残留的水平液相外延石墨舟及方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202511804613.5
申请日
:
2025-12-03
公开(公告)号
:
CN121228347A
公开(公告)日
:
2025-12-30
发明(设计)人
:
王长浩
张娟
陈民
孙权志
魏彦锋
申请人
:
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址
:
200083 上海市虹口区中山北一路420号
IPC主分类号
:
C30B19/06
IPC分类号
:
代理机构
:
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人
:
赵磊
法律状态
:
公开
国省代码
:
北京市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-12-30
公开
公开
共 50 条
[1]
一种防止母液大面积残留的液相外延石墨舟
[P].
王奇伟
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王奇伟
;
于清华
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于清华
;
何家玉
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何家玉
;
邓惠勇
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邓惠勇
;
戴宁
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戴宁
.
中国专利
:CN101586252B
,2009-11-25
[2]
一种防止母液粘舟的液相外延石墨舟
[P].
邓惠勇
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邓惠勇
;
王奇伟
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王奇伟
;
戴宁
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戴宁
.
中国专利
:CN101225542A
,2008-07-23
[3]
一种减少母液残留的液相外延石墨舟及生长方法
[P].
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机构:
黄晟
;
黄立
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
黄立
;
张冰洁
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
张冰洁
;
彭清琪
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
彭清琪
;
赵超禹
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
赵超禹
.
中国专利
:CN119824525A
,2025-04-15
[4]
一种可连续生长多层膜的防止母液残留的液相外延石墨舟
[P].
孙常鸿
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孙常鸿
;
胡淑红
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胡淑红
;
王奇伟
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王奇伟
;
邓惠勇
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邓惠勇
;
邱锋
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邱锋
;
吕英飞
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吕英飞
;
郭建华
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郭建华
;
戴宁
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戴宁
.
中国专利
:CN102383190B
,2012-03-21
[5]
一种用于水平液相外延生长的石墨舟
[P].
邸拴虎
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邸拴虎
;
袁卫华
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袁卫华
;
魏唯
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魏唯
;
罗才旺
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罗才旺
;
罗臻
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罗臻
.
中国专利
:CN111118597B
,2020-05-08
[6]
一种用于水平液相外延生长的石墨舟
[P].
罗才旺
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罗才旺
;
陈峰武
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陈峰武
;
魏唯
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魏唯
.
中国专利
:CN107779948A
,2018-03-09
[7]
减少表面缺陷的水平液相外延石墨舟以及水平液相外延生长方法
[P].
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机构:
黄晟
;
黄立
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
黄立
;
张冰洁
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
张冰洁
;
彭清琪
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
彭清琪
.
中国专利
:CN118910719A
,2024-11-08
[8]
水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法及生长方法
[P].
不公告发明人
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不公告发明人
.
中国专利
:CN114934317A
,2022-08-23
[9]
具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟
[P].
王洋
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王洋
;
胡淑红
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胡淑红
;
吕英飞
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吕英飞
;
戴宁
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戴宁
.
中国专利
:CN204224738U
,2015-03-25
[10]
一种具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟
[P].
王洋
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王洋
;
胡淑红
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胡淑红
;
吕英飞
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吕英飞
;
戴宁
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戴宁
.
中国专利
:CN104328487A
,2015-02-04
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