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一种铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的制备方法及应用

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411828511.2
申请日：
2024-12-12
公开(公告)号：
CN119774982A
公开(公告)日：
2025-04-08
发明(设计)人：
高钰航 王靓栎 陈露 葛春桥 梁齐莹
申请人：
中山智隆新材料科技有限公司
申请人地址：
528400 广东省中山市板芙镇智能制造装备产业园智润路2号(住所申报)
IPC主分类号：
C04B35/01
IPC分类号：
C23C14/35 C23C14/08 C04B35/622 C04B35/63
代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人：
马俊
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广东省 中山市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-25 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/01申请日:20241212
2025-09-23 授权 授权
2025-04-08 公开 公开
共 50 条
[1]
一种铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的制备方法及应用 [P]. 
高钰航 ;
王靓栎 ;
陈露 ;
葛春桥 ;
梁齐莹 .
中国专利 :CN119774982B ,2025-09-23
[2]
一种钨掺杂氧化铟蒸镀靶材及其制备方法和应用 [P]. 
高钰航 ;
陈露 ;
葛春桥 .
中国专利 :CN119462078A ,2025-02-18
[3]
一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 .
中国专利 :CN119954497A ,2025-05-09
[4]
一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 .
中国专利 :CN119954497B ,2025-10-28
[5]
一种氧化铟铈靶材的制备方法及其应用 [P]. 
徐威 ;
葛春桥 ;
丁金铎 ;
程玺儒 ;
陈露 ;
王靓栎 .
中国专利 :CN121135374A ,2025-12-16
[6]
一种高密度铈掺杂氧化铟靶材的制备方法 [P]. 
梅方胜 ;
陈明威 ;
崔艳 .
中国专利 :CN118771854A ,2024-10-15
[7]
一种氧化物掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P]. 
林智成 ;
侯庆龙 ;
李强 ;
官凌宇 ;
纪生晓 ;
罗云侠 .
中国专利 :CN119613091A ,2025-03-14
[8]
一种氧化铈掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P]. 
程玺儒 ;
徐威 .
中国专利 :CN121135372A ,2025-12-16
[9]
一种氧化铟钛铈铌陶瓷靶材及其制备方法和应用、透明导电氧化物薄膜 [P]. 
刘秉宁 ;
孔伟华 ;
马贺 .
中国专利 :CN121159233A ,2025-12-19
[10]
一种氧化铟铈靶材及其制备方法与应用 [P]. 
高洋 ;
丁金铎 ;
李强 ;
葛春桥 .
中国专利 :CN118255577A ,2024-06-28
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