一种钨掺杂氧化铟蒸镀靶材及其制备方法和应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411401367.4
申请日
2024-10-09
公开(公告)号
CN119462078A
公开(公告)日
2025-02-18
发明(设计)人
高钰航 陈露 葛春桥
申请人
中山智隆新材料科技有限公司
申请人地址
528400 广东省中山市板芙镇智能制造装备产业园智润路2号(住所申报)
IPC主分类号
C04B35/01
IPC分类号
C23C14/32 C23C14/08 C04B35/622
代理机构
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人
尚云
法律状态
实质审查的生效
国省代码
广东省 中山市
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共 50 条
[1]
一种铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的制备方法及应用 [P]. 
高钰航 ;
王靓栎 ;
陈露 ;
葛春桥 ;
梁齐莹 .
中国专利 :CN119774982B ,2025-09-23
[2]
一种铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的制备方法及应用 [P]. 
高钰航 ;
王靓栎 ;
陈露 ;
葛春桥 ;
梁齐莹 .
中国专利 :CN119774982A ,2025-04-08
[3]
一种钨掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用 [P]. 
梅方胜 ;
陈明威 ;
崔艳 .
中国专利 :CN117049860B ,2025-10-03
[4]
一种氧化铈掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P]. 
程玺儒 ;
徐威 .
中国专利 :CN121135372A ,2025-12-16
[5]
一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 .
中国专利 :CN119954497A ,2025-05-09
[6]
一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 .
中国专利 :CN119954497B ,2025-10-28
[7]
一种氧化铟钨靶材及其制备方法 [P]. 
谭洪蕾 ;
邵学亮 ;
李开杰 ;
王奇峰 .
中国专利 :CN118307297A ,2024-07-09
[8]
一种氧化物掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P]. 
林智成 ;
侯庆龙 ;
李强 ;
官凌宇 ;
纪生晓 ;
罗云侠 .
中国专利 :CN119613091A ,2025-03-14
[9]
一种氧化铟镓钛靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 ;
李强 ;
罗泽宇 .
中国专利 :CN119306475A ,2025-01-14
[10]
一种氧化铟基蒸镀靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 .
中国专利 :CN120291022A ,2025-07-11