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一种钨掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311056209.5
申请日：
2023-08-22
公开(公告)号：
CN117049860B
公开(公告)日：
2025-10-03
发明(设计)人：
梅方胜 陈明威 崔艳
申请人：
河南欣维捷科技有限公司
申请人地址：
450001 河南省郑州市国家高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心二号楼B1126-1127
IPC主分类号：
C04B35/01
IPC分类号：
C04B35/622 H10F77/20
代理机构：
长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114
代理人：
钟丹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-03 授权 授权
共 50 条
[1]
一种钨掺杂氧化铟蒸镀靶材及其制备方法和应用 [P]. 
高钰航 ;
陈露 ;
葛春桥 .
中国专利 :CN119462078A ,2025-02-18
[2]
一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 .
中国专利 :CN119954497A ,2025-05-09
[3]
一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 .
中国专利 :CN119954497B ,2025-10-28
[4]
一种氧化铟钨靶材及其制备方法 [P]. 
谭洪蕾 ;
邵学亮 ;
李开杰 ;
王奇峰 .
中国专利 :CN118307297A ,2024-07-09
[5]
一种氧化铟钨靶材的制备方法 [P]. 
罗斯诗 ;
母本怒 ;
李开杰 ;
林世洪 .
中国专利 :CN119569422A ,2025-03-07
[6]
一种氧化铈掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P]. 
程玺儒 ;
徐威 .
中国专利 :CN121135372A ,2025-12-16
[7]
一种铟钨氧化物靶材及其制备方法 [P]. 
刘洋 ;
左仲恒 ;
孙本双 ;
曾学云 ;
王之君 ;
刘苗 ;
陈杰 ;
舒永春 ;
何季麟 .
中国专利 :CN114702304A ,2022-07-05
[8]
一种氧化铟铈靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 ;
高洋 .
中国专利 :CN118598639A ,2024-09-06
[9]
一种氧化物掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P]. 
林智成 ;
侯庆龙 ;
李强 ;
官凌宇 ;
纪生晓 ;
罗云侠 .
中国专利 :CN119613091A ,2025-03-14
[10]
掺杂钼的氧化铟靶材制备方法和掺杂钼的氧化铟靶材 [P]. 
雷雨 ;
许积文 ;
周志宏 ;
肖世洪 ;
周昭宇 ;
杨永添 .
中国专利 :CN114057470A ,2022-02-18
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