一种氧化铟基蒸镀靶材及其制备方法和应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510282246.0
申请日
2025-03-11
公开(公告)号
CN120291022A
公开(公告)日
2025-07-11
发明(设计)人
王靓栎 葛春桥 陈露
申请人
中山智隆新材料科技有限公司
申请人地址
528400 广东省中山市板芙镇智能制造装备产业园智润路2号(住所申报)
IPC主分类号
C23C14/24
IPC分类号
C23C14/08 C04B35/01 C04B35/622
代理机构
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人
罗新
法律状态
公开
国省代码
广东省 中山市
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共 50 条
[1]
一种钨掺杂氧化铟蒸镀靶材及其制备方法和应用 [P]. 
高钰航 ;
陈露 ;
葛春桥 .
中国专利 :CN119462078A ,2025-02-18
[2]
一种钨掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用 [P]. 
梅方胜 ;
陈明威 ;
崔艳 .
中国专利 :CN117049860B ,2025-10-03
[3]
一种氧化铈掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P]. 
程玺儒 ;
徐威 .
中国专利 :CN121135372A ,2025-12-16
[4]
一种氧化物掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P]. 
林智成 ;
侯庆龙 ;
李强 ;
官凌宇 ;
纪生晓 ;
罗云侠 .
中国专利 :CN119613091A ,2025-03-14
[5]
一种氧化铟锡靶材及其制备方法和应用 [P]. 
徐威 ;
葛春桥 ;
丁金铎 .
中国专利 :CN118955118A ,2024-11-15
[6]
一种氧化铟铈靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 ;
高洋 .
中国专利 :CN118598639A ,2024-09-06
[7]
一种氧化铟铈靶材及其制备方法 [P]. 
罗斯诗 ;
李开杰 ;
王奇峰 ;
顾德盛 ;
张兴宇 .
中国专利 :CN118878306A ,2024-11-01
[8]
一种氧化铟锡铈靶材及其制备方法和应用 [P]. 
梅方胜 ;
戚芳芳 ;
曹新鲜 ;
林建国 .
中国专利 :CN116375463B ,2024-08-27
[9]
一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 .
中国专利 :CN119954497A ,2025-05-09
[10]
一种氧化铟镓钛靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 ;
李强 ;
罗泽宇 .
中国专利 :CN119306475A ,2025-01-14