一种氧化铟锡靶材及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411023847.1

申请日：

2024-07-29

公开(公告)号：

CN118955118A

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

徐威葛春桥丁金铎

申请人：

中山智隆新材料科技有限公司

申请人地址：

528400 广东省中山市板芙镇智能制造装备产业园智润路2号(住所申报)

IPC主分类号：

C04B35/457

IPC分类号：

C04B35/64 C23C14/34

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

罗新

法律状态：

公开

国省代码：

广东省中山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-15	公开	公开
2024-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/457申请日:20240729

共 50 条

[1]

一种氧化铟锡铈靶材及其制备方法和应用 [P].

梅方胜 ;

戚芳芳 ;

曹新鲜 ;

林建国 .

中国专利 :CN116375463B ,2024-08-27

[2]

氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108585832A ,2018-09-28

[3]

氧化铟锡靶材以及其烧结制备方法 [P].

曾纪术 ;

胡明振 ;

吴伯增 ;

陈锦全 ;

陈进中 ;

熊爱臣 ;

陈良武 ;

张元松 ;

谭翠 .

中国专利 :CN103922703B ,2014-07-16

[4]

氧化铟靶材和氧化铟靶材制备方法 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114059025A ,2022-02-18

[5]

一种氧化铈掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P].

程玺儒 ;

徐威 .

中国专利 :CN121135372A ,2025-12-16

[6]

一种低氧化锡含量的氧化铟锡靶材及其制备方法 [P].

方志杰 ;

莫曼 ;

谭泽旦 ;

姜峰 ;

黄誓成 ;

王凯 ;

曾纪术 ;

王永清 .

中国专利 :CN118495924A ,2024-08-16

[7]

一种低氧化锡含量的氧化铟锡靶材及其制备方法 [P].

方志杰 ;

莫曼 ;

谭泽旦 ;

姜峰 ;

黄誓成 ;

王凯 ;

曾纪术 ;

王永清 .

中国专利 :CN118495924B ,2025-06-10

[8]

一种氧化铟锡锌靶材、氧化物薄膜及其制备方法 [P].

陈明飞 ;

刘永成 ;

王金科 ;

郭梓旋 ;

徐胜利 ;

陈明高 ;

江长久 ;

王志杰 ;

莫国仁 ;

李跃辉 .

中国专利 :CN115418618A ,2022-12-02

[9]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法和应用 [P].

王靓栎 ;

葛春桥 ;

陈露 ;

高洋 .

中国专利 :CN118598639A ,2024-09-06

[10]

氧化铟锡靶材浆料的制备方法 [P].

柴卫平 .

中国专利 :CN102013279B ,2012-02-22

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