一种碳化硅晶棒切片设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510038905.6

申请日：

2025-01-10

公开(公告)号：

CN119458649B

公开(公告)日：

2025-04-15

发明(设计)人：

梁晏馨刘洋洋余志明陈启迪吕品

申请人：

山西天成半导体材料有限公司

申请人地址：

030000 山西省太原市中北高新技术产业开发区不锈钢产业园区钢园北街1号

IPC主分类号：

B28D5/04

IPC分类号：

B28D7/04 B28D7/00

代理机构：

安徽金澜知识产权代理事务所(普通合伙) 34353

代理人：

杨涛

法律状态：

授权

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-15	授权	授权
2025-03-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B28D 5/04申请日:20250110
2025-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶棒切片设备 [P].

梁晏馨 ;

刘洋洋 ;

余志明 ;

陈启迪 ;

吕品 .

中国专利 :CN119458649A ,2025-02-18

[2]

碳化硅晶棒切片设备及碳化硅晶棒的切片方法 [P].

林钦山 ;

吕建兴 ;

刘建成 ;

林嫚萱 .

中国专利 :CN108621315A ,2018-10-09

[3]

一种碳化硅晶圆切片工艺 [P].

严立巍 .

中国专利 :CN115958308B ,2025-08-08

[4]

多功能碳化硅切片设备 [P].

贺贤汉 ;

徐广乾 ;

李竫 .

中国专利 :CN120828479A ,2025-10-24

[5]

碳化硅扩晶设备、碳化硅扩晶方法以及碳化硅扩晶工艺 [P].

洪启航 ;

朱闵圣 ;

徐为哲 ;

方雷 .

中国专利 :CN118497884A ,2024-08-16

[6]

一种碳化硅晶棒磨削夹持组件 [P].

孔祥孟 ;

苏丽娜 ;

宋生 ;

刘家朋 ;

王含冠 ;

王瑞 ;

刘乐乐 .

中国专利 :CN221020521U ,2024-05-28

[7]

一种碳化硅晶棒切割装置 [P].

王希杰 ;

邵殿领 .

中国专利 :CN207105320U ,2018-03-16

[8]

碳化硅长晶设备 [P].

周元辉 ;

刘春艳 ;

胡春霞 ;

刘洪亮 ;

刘洪涛 ;

范子龙 ;

高雅蕾 ;

姜树炎 .

中国专利 :CN305492627S ,2019-12-13

[9]

碳化硅长晶设备 [P].

黄义 ;

左雷杰 ;

庞宇 ;

梁赫 .

中国专利 :CN308935555S ,2024-11-12

[10]

碳化硅长晶设备 [P].

刘景文 ;

柯盛辉 .

中国专利 :CN217149397U ,2022-08-09

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