多功能碳化硅切片设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510921317.7
申请日
2025-07-04
公开(公告)号
CN120828479A
公开(公告)日
2025-10-24
发明(设计)人
贺贤汉 徐广乾 李竫
申请人
上海汉虹精密机械有限公司
申请人地址
200444 上海市宝山区城市工业园区山连路188号
IPC主分类号
B28D5/04
IPC分类号
B28D7/02 B28D7/00 B28D7/04
代理机构
上海申浩律师事务所 31280
代理人
陆叶
法律状态
公开
国省代码
上海市 市辖区
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共 50 条
[1]
碳化硅晶棒切片设备及碳化硅晶棒的切片方法 [P]. 
林钦山 ;
吕建兴 ;
刘建成 ;
林嫚萱 .
中国专利 :CN108621315A ,2018-10-09
[2]
一种碳化硅晶棒切片设备 [P]. 
梁晏馨 ;
刘洋洋 ;
余志明 ;
陈启迪 ;
吕品 .
中国专利 :CN119458649A ,2025-02-18
[3]
一种碳化硅晶棒切片设备 [P]. 
梁晏馨 ;
刘洋洋 ;
余志明 ;
陈启迪 ;
吕品 .
中国专利 :CN119458649B ,2025-04-15
[4]
碳化硅沉淀设备 [P]. 
楚云皓 ;
邢军英 ;
楚振营 .
中国专利 :CN203954749U ,2014-11-26
[5]
碳化硅外延设备 [P]. 
刘永明 ;
王东兴 ;
周慧娟 .
中国专利 :CN120649150A ,2025-09-16
[6]
碳化硅沉淀设备 [P]. 
李新奇 .
中国专利 :CN206996061U ,2018-02-13
[7]
碳化硅外延设备 [P]. 
杨龙 ;
吴会旺 ;
李召永 ;
白春杰 ;
李伟峰 ;
张国良 ;
袁肇耿 ;
薛宏伟 .
中国专利 :CN216514256U ,2022-05-13
[8]
碳化硅外延设备 [P]. 
傅林坚 ;
刘毅 ;
吴正闪 ;
朱亮 ;
曹建伟 .
中国专利 :CN221480160U ,2024-08-06
[9]
碳化硅外延设备 [P]. 
刘永明 ;
王东兴 ;
周慧娟 .
中国专利 :CN120649150B ,2025-10-28
[10]
碳化硅提纯设备 [P]. 
王序林 ;
付建军 ;
刘彦凯 .
中国专利 :CN121103524A ,2025-12-12