晶圆移载装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420824068.0

申请日：

2024-04-19

公开(公告)号：

CN222749446U

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

唐寒风黄海陈志勇

申请人：

广东思沃先进装备有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖园区兴业路2号13栋

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/683 H01L21/677

代理机构：

东莞科强知识产权代理事务所(普通合伙) 44450

代理人：

李林学

法律状态：

授权

国省代码：

广东省东莞市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-11	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆移载装置 [P].

唐寒风 ;

黄海 ;

陈志勇 .

中国专利 :CN222749444U ,2025-04-11

[2]

晶圆载台和晶圆移载装置 [P].

陶大帅 ;

王婧 ;

张金 ;

金煜杰 ;

李高飞 ;

陈长 ;

陈照云 ;

陈俊儒 ;

吴东 .

中国专利 :CN120727651A ,2025-09-30

[3]

晶圆升降载台和晶圆移载装置 [P].

李高飞 ;

王婧 ;

张金 ;

金煜杰 ;

陈长 ;

陈俊儒 ;

陈照云 ;

吴东 ;

陶大帅 .

中国专利 :CN120878628A ,2025-10-31

[4]

晶圆盒移载装置 [P].

简呈儒 ;

卓侃熠 .

中国专利 :CN113161272A ,2021-07-23

[5]

晶圆盒移载装置 [P].

简呈儒 ;

卓侃熠 .

中国专利 :CN113161272B ,2025-02-28

[6]

晶圆盒移载装置 [P].

简呈儒 ;

卓侃熠 .

中国专利 :CN211320072U ,2020-08-21

[7]

一种晶圆移载装置 [P].

邱创文 ;

蔡奇陵 .

中国专利 :CN218101223U ,2022-12-20

[8]

晶圆承载环移载装置 [P].

郑君辰 .

中国专利 :CN209571397U ,2019-11-01

[9]

晶圆移载整平装置 [P].

唐寒风 ;

范志平 ;

彭家建 .

中国专利 :CN222749445U ,2025-04-11

[10]

晶圆上下料移载装置 [P].

林邦羽 ;

李勇春 ;

刘卫东 .

中国专利 :CN217903098U ,2022-11-25

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