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表面分析方法及表面分析装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080089473.7
申请日：
2020-12-14
公开(公告)号：
CN114846318B
公开(公告)日：
2025-04-04
发明(设计)人：
水村通伸
申请人：
株式会社V技术
申请人地址：
日本神奈川县横滨市
IPC主分类号：
G01N21/27
IPC分类号：
G01N21/956
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
吕琳;朴秀玉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-04 | 授权 | 授权 |