一种用于氮化铝陶瓷粗抛CMP抛光液及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411967469.2
申请日
2024-12-30
公开(公告)号
CN119752326A
公开(公告)日
2025-04-04
发明(设计)人
孙蕊蕊 罗浩宁 姜霁涛 何慧龄 火雅茹 牛娟娟 王海成 高宇柱
申请人
甘肃金阳高科技材料有限公司
申请人地址
730100 甘肃省兰州市榆中县和平镇和平开发区工贸街
IPC主分类号
C09G1/02
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
河北省 石家庄市
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共 50 条
[1]
一种氮化铝陶瓷基板用抛光液及其制备方法 [P]. 
齐荣 ;
吴月英 .
中国专利 :CN120025741A ,2025-05-23
[2]
一种氮化铝陶瓷基板用抛光液及其制备方法 [P]. 
齐荣 ;
吴月英 .
中国专利 :CN119736019A ,2025-04-01
[3]
用于氮化铝陶瓷抛光的抛光液及其制备方法 [P]. 
李军 ;
于旭东 .
中国专利 :CN118580772A ,2024-09-03
[4]
一种用于钛合金精抛的CMP抛光液及其制备方法 [P]. 
王海成 ;
罗浩宁 ;
姜霁涛 ;
高宇柱 ;
牛娟娟 ;
火雅茹 ;
孙蕊蕊 .
中国专利 :CN120192712A ,2025-06-24
[5]
一种氮化铝陶瓷基板用抛光液及其制备方法和抛光方法 [P]. 
苑亚斐 ;
成淼 ;
李雪梅 .
中国专利 :CN112521866A ,2021-03-19
[6]
用于氮化铝陶瓷抛光的抛光液及其制备方法 [P]. 
于旭东 ;
李军 ;
尹涛 ;
张海龙 ;
丁帅 .
中国专利 :CN121064737A ,2025-12-05
[7]
一种碳化硅衬底粗抛用氧化铝抛光液及其制备方法 [P]. 
陈森军 ;
许亚杰 ;
张瑞敏 .
中国专利 :CN118909551A ,2024-11-08
[8]
一种CMP抛光液的制备方法 [P]. 
王乐军 ;
李琳琳 ;
宋士佳 ;
刘桂勇 ;
彭东阳 ;
姜宏 .
中国专利 :CN108017998A ,2018-05-11
[9]
一种抛光液及其制备方法 [P]. 
周群飞 ;
李强 .
中国专利 :CN109251681A ,2019-01-22
[10]
一种碳化硅CMP精抛抛光液及其制备方法 [P]. 
高尚 ;
董志刚 ;
宋鑫 ;
邹逸然 ;
康仁科 .
中国专利 :CN120173514A ,2025-06-20