一种用于钛合金精抛的CMP抛光液及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510322977.3

申请日：

2025-03-19

公开(公告)号：

CN120192712A

公开(公告)日：

2025-06-24

发明(设计)人：

王海成罗浩宁姜霁涛高宇柱牛娟娟火雅茹孙蕊蕊

申请人：

甘肃金阳高科技材料有限公司

申请人地址：

730100 甘肃省兰州市榆中县和平镇和平开发区工贸街

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

代理机构：

兰州锦科标联知识产权代理事务所(普通合伙) 62203

代理人：

牟月萍

法律状态：

公开

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-24	公开	公开
2025-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/02申请日:20250319

共 50 条

[1]

一种用于氮化铝陶瓷粗抛CMP抛光液及其制备方法 [P].

孙蕊蕊 ;

罗浩宁 ;

姜霁涛 ;

何慧龄 ;

火雅茹 ;

牛娟娟 ;

王海成 ;

高宇柱 .

中国专利 :CN119752326A ,2025-04-04

[2]

一种用于β-SiC精抛抛光液及其制备方法 [P].

张育玮 ;

张辰彬 ;

刘洋 ;

罗光红 .

中国专利 :CN120310440A ,2025-07-15

[3]

一种用于处理钛合金的抛光液及其制备方法 [P].

汤庭滨 ;

肖亚辉 ;

黄灿容 ;

马楠楠 ;

李光 ;

侯康生 .

中国专利 :CN115198276B ,2024-03-19

[4]

一种碳化硅CMP精抛抛光液及其制备方法 [P].

高尚 ;

董志刚 ;

宋鑫 ;

邹逸然 ;

康仁科 .

中国专利 :CN120173514A ,2025-06-20

[5]

一种碳化硅CMP精抛抛光液及其制备方法 [P].

高尚 ;

董志刚 ;

宋鑫 ;

邹逸然 ;

康仁科 .

中国专利 :CN120173514B ,2025-09-12

[6]

一种用于单晶碳化硅衬底精抛的CMP抛光液及其制备方法 [P].

牛娟娟 ;

罗浩宁 ;

孙蕊蕊 ;

火雅茹 ;

王海成 ;

陈正磊 .

中国专利 :CN117987015A ,2024-05-07

[7]

用于合金抛光的氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

曾名辉 .

中国专利 :CN103937413A ,2014-07-23

[8]

一种钛合金抛光液及其制备方法 [P].

胡英 .

中国专利 :CN120442169A ,2025-08-08

[9]

一种抛光液及其制备方法 [P].

王辰伟 ;

李星 ;

雷双双 ;

李仕权 ;

张俊华 .

中国专利 :CN119144236A ,2024-12-17

[10]

一种CMP抛光液的制备方法 [P].

王乐军 ;

李琳琳 ;

宋士佳 ;

刘桂勇 ;

彭东阳 ;

姜宏 .

中国专利 :CN108017998A ,2018-05-11

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