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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-04 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230927 |
| 2025-09-30 | 著录事项变更 | 著录事项变更IPC(主分类):H01L 21/67变更事项:申请人变更前:珠海碳云晶芯智能科技有限公司变更后:广东碳云晶芯智能科技有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:519031 广东省珠海市横琴新区粤澳合作中医药科技产业园飞蓬路100号2栋101室变更后:519031 广东省珠海市横琴新区粤澳合作中医药科技产业园飞蓬路100号2栋101室 |