一种晶圆载具的夹持调整装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411909087.4

申请日：

2024-12-24

公开(公告)号：

CN119812092A

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

张伟吕秀贞屈保楠

申请人：

昆山大川塑胶工业有限公司

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山开发区大通路999号4号厂房

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

B08B17/02 B01D46/10 B01D46/681

代理机构：

苏州新协专利代理事务所(普通合伙) 32857

代理人：

吴昌旭

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-02	授权	授权
2025-04-11	公开	公开
2025-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20241224

共 50 条

[1]

一种晶圆载具的夹持调整装置及方法 [P].

张伟 ;

吕秀贞 ;

屈保楠 .

中国专利 :CN119812092B ,2025-09-02

[2]

晶圆载具及用于操作该晶圆载具的夹持调整装置及方法 [P].

邱摩西 ;

何江波 ;

刘汝拯 ;

杨波 ;

谭文明 .

中国专利 :CN116845026B ,2024-01-30

[3]

一种用于晶圆装载的载具及载具夹持装置 [P].

许正根 .

中国专利 :CN111128822A ,2020-05-08

[4]

晶圆弯曲度调整装置及方法 [P].

白靖宇 .

中国专利 :CN110752171B ,2020-02-04

[5]

晶圆吸附调整装置 [P].

何艳 ;

邢鹏展 ;

张男男 ;

吴梦晗 ;

刘遵明 ;

李华 ;

陈治衡 ;

田玉鑫 .

中国专利 :CN120921546A ,2025-11-11

[6]

晶圆位置调整装置 [P].

丁洋 ;

崔亚东 ;

王永昌 ;

陈章晏 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209496850U ,2019-10-15

[7]

晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置 [P].

王双五 ;

苏飘 ;

朱国辉 ;

宗源 ;

胡海波 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN120072715B ,2025-07-25

[8]

晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置 [P].

王双五 ;

苏飘 ;

朱国辉 ;

宗源 ;

胡海波 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN120072715A ,2025-05-30

[9]

晶圆加工设备及晶圆载具的清洁方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112582295A ,2021-03-30

[10]

一种晶圆载具 [P].

白雪山 ;

沙峰 .

中国专利 :CN216487989U ,2022-05-10

← 1 2 3 4 5 →