一种用于晶圆装载的载具及载具夹持装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911256454.4

申请日：

2019-12-10

公开(公告)号：

CN111128822A

公开(公告)日：

2020-05-08

发明(设计)人：

许正根

申请人：

申请人地址：

243100 安徽省马鞍山市当涂县博望镇大溪村21号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20191210
2020-05-08	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆载具 [P].

许峯嘉 ;

刘现营 .

中国专利 :CN206947308U ,2018-01-30

[2]

一种晶圆载具及用于操作所述晶圆载具的机械手 [P].

三重野文健 .

中国专利 :CN109545733A ,2019-03-29

[3]

一种晶圆载具的夹持调整装置及方法 [P].

张伟 ;

吕秀贞 ;

屈保楠 .

中国专利 :CN119812092A ,2025-04-11

[4]

一种晶圆载具的夹持调整装置及方法 [P].

张伟 ;

吕秀贞 ;

屈保楠 .

中国专利 :CN119812092B ,2025-09-02

[5]

一种带有夹持装置的载具及用于载具的传送线 [P].

张斌才 ;

王学元 ;

王华清 ;

祝黄建 ;

徐瑶 ;

陈荣豪 ;

李家鑫 ;

朱梦鹏 ;

秦厚林 .

中国专利 :CN223012323U ,2025-06-24

[6]

一种晶圆片传送载具 [P].

宋文 .

中国专利 :CN119833453B ,2025-10-14

[7]

一种晶圆片传送载具 [P].

宋文 .

中国专利 :CN119833453A ,2025-04-15

[8]

一种载具夹持装置 [P].

张晨 ;

尹政 ;

叶超 ;

王涛 ;

任广东 ;

徐永 ;

刘智超 .

中国专利 :CN222225315U ,2024-12-24

[9]

晶圆加工设备及晶圆载具的清洁方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112582295A ,2021-03-30

[10]

夹持装置、载具以及极耳焊接用载具 [P].

张松岭 ;

赵盛宇 ;

梁辰 ;

李志敏 ;

赵新生 ;

梁玉兵 ;

龙蓉 ;

唐荣 ;

刘昆鹏 ;

李贻国 .

中国专利 :CN216624361U ,2022-05-27

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