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一种晶圆载具及用于操作所述晶圆载具的机械手
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710867571.9
申请日：
2017-09-22
公开(公告)号：
CN109545733A
公开(公告)日：
2019-03-29
发明(设计)人：
三重野文健
申请人：
申请人地址：
201306 上海市浦东新区临港新城云水路1000号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
北京市磐华律师事务所 11336
代理人：
高伟;张建
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20170922 |
| 2021-07-30 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/687 申请公布日:20190329 |
| 2019-03-29 | 公开 | 公开 |