离子束检测装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211519264.9

申请日：

2022-11-30

公开(公告)号：

CN115831695B

公开(公告)日：

2025-04-18

发明(设计)人：

朱孟辉

申请人：

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司上海集成电路研发中心有限公司

申请人地址：

201800 上海市嘉定区娄陆公路497号

IPC主分类号：

H01J37/244

IPC分类号：

H01J37/317

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

吴浩

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-18	授权	授权

共 50 条

[1]

离子束检测装置及离子束检测方法、离子注入设备 [P].

苏文华 ;

何太延 .

中国专利 :CN119890016A ,2025-04-25

[2]

离子束检测装置及离子束检测方法、离子注入设备 [P].

苏文华 ;

何太延 .

中国专利 :CN119890016B ,2025-10-10

[3]

离子束检测装置和方法 [P].

让－马克·丰博纳 .

中国专利 :CN1302293C ,2004-11-03

[4]

离子束稳定性的检测装置及检测方法 [P].

方亮 ;

贾敏 .

中国专利 :CN102522352B ,2012-06-27

[5]

离子束传输装置 [P].

钱锋 ;

陈炯 .

中国专利 :CN102117729A ,2011-07-06

[6]

带状离子束离子均匀性检测方法和装置 [P].

金明明 ;

王洋 ;

马富林 ;

郑刚 .

中国专利 :CN118566968A ,2024-08-30

[7]

一种离子束检测装置及检测系统 [P].

金杰 ;

赵一州 ;

谷佳宾 ;

李知宇 .

中国专利 :CN118438266A ,2024-08-06

[8]

一种离子束检测装置 [P].

李晨冉 ;

梁旭 .

中国专利 :CN105895479B ,2016-08-24

[9]

光栅离子束刻蚀的光学在线检测装置及检测方法 [P].

刘颖 ;

徐向东 ;

洪义麟 ;

徐德权 ;

付绍军 .

中国专利 :CN101261449A ,2008-09-10

[10]

离子束检测装置、半导体工艺设备及检测方法 [P].

苏文华 ;

何太延 .

中国专利 :CN117524822A ,2024-02-06

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