离子束稳定性的检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110436369.3

申请日：

2011-12-22

公开(公告)号：

CN102522352B

公开(公告)日：

2012-06-27

发明(设计)人：

方亮贾敏

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01J37317

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-30	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700521875 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2011104363693 变更事项:申请人变更前权利人:上海宏力半导体制造有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20140408
2012-06-27	公开	公开
2016-01-27	授权	授权
2013-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101553121868 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2011104363693 申请日:20111222

共 50 条

[1]

离子束检测装置及离子束检测方法、离子注入设备 [P].

苏文华 ;

何太延 .

中国专利 :CN119890016A ,2025-04-25

[2]

离子束检测装置及离子束检测方法、离子注入设备 [P].

苏文华 ;

何太延 .

中国专利 :CN119890016B ,2025-10-10

[3]

离子束浓度的检测方法及离子束检测系统 [P].

张伟 .

中国专利 :CN103295864B ,2013-09-11

[4]

离子束检测装置及方法 [P].

朱孟辉 .

中国专利 :CN115831695B ,2025-04-18

[5]

聚焦离子束设备及聚焦离子束检测方法 [P].

赖李龙 .

中国专利 :CN101246132B ,2008-08-20

[6]

光栅离子束刻蚀的光学在线检测装置及检测方法 [P].

刘颖 ;

徐向东 ;

洪义麟 ;

徐德权 ;

付绍军 .

中国专利 :CN101261449A ,2008-09-10

[7]

离子束检测装置和方法 [P].

让－马克·丰博纳 .

中国专利 :CN1302293C ,2004-11-03

[8]

水质稳定性检测装置以及检测方法 [P].

张广文 .

中国专利 :CN101975778A ,2011-02-16

[9]

液体弹珠稳定性检测方法及装置 [P].

陈柳成 ;

杨梯云 ;

郭翎 ;

孔湉湉 ;

刘洲 .

中国专利 :CN108956294A ,2018-12-07

[10]

离子束均匀度检测装置及检测方法 [P].

李斌 ;

庞闻 ;

苏文华 ;

李家军 .

中国专利 :CN111830553A ,2020-10-27

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