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晶圆测量装置、方法和晶圆键合设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411890812.8
申请日：
2024-12-20
公开(公告)号：
CN119764216A
公开(公告)日：
2025-04-04
发明(设计)人：
邵任之
申请人：
湖北江城实验室
申请人地址：
430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区光谷一路227号3号楼
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
G01L13/00
H01L21/66
代理机构：
北京派特恩知识产权代理有限公司 11270
代理人：
胡奋琴;浦彩华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-04 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241220 |