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一种晶圆墨点标记方法及装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310159939.1
申请日：
2023-02-23
公开(公告)号：
CN116206993B
公开(公告)日：
2025-04-22
发明(设计)人：
王洲
申请人：
上海赛美地软件科技有限公司
申请人地址：
200100 上海市闵行区中春路7001号2幢3楼
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
邓超
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-22 | 授权 | 授权 |
| 2025-05-30 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):H01L 21/66变更事项:专利权人变更前:上海赛美地软件科技有限公司变更后:上海赛美特信息科技有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:200100 上海市闵行区中春路7001号2幢3楼变更后:200100 上海市闵行区中春路7001号2幢3楼 |