一种晶圆测试方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010245834.4

申请日：

2020-03-31

公开(公告)号：

CN111446179A

公开(公告)日：

2020-07-24

发明(设计)人：

王金枝韦亚一粟雅娟

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

房德权

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20200331
2020-07-24	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆测试装置及晶圆测试方法 [P].

尤育新 ;

胡鸣峰 .

中国专利 :CN120064944A ,2025-05-30

[2]

一种晶圆及晶圆测试方法 [P].

管振兴 ;

严大生 ;

蔡育源 ;

徐传贤 ;

司徒道海 .

中国专利 :CN111613546A ,2020-09-01

[3]

一种晶圆及晶圆测试方法 [P].

王志勇 ;

严大生 ;

蔡育源 ;

徐传贤 ;

司徒道海 .

中国专利 :CN111613545A ,2020-09-01

[4]

晶圆测试方法及晶圆测试装置 [P].

刘昌江 ;

周杰 ;

田茂 ;

谢家红 .

中国专利 :CN110164789A ,2019-08-23

[5]

晶圆测试装置及晶圆测试方法 [P].

唐莎 ;

滕雷 ;

罗军 ;

唐锐 ;

王小强 ;

罗宏伟 .

中国专利 :CN112924847A ,2021-06-08

[6]

晶圆测试方法及晶圆测试装置 [P].

石恒志 ;

刘刚 .

中国专利 :CN113725110A ,2021-11-30

[7]

晶圆测试装置及晶圆测试方法 [P].

陈立军 ;

姚大平 .

中国专利 :CN109239578A ,2019-01-18

[8]

一种晶圆测试系统及晶圆测试方法 [P].

赵齐齐 ;

周杰 ;

田茂 .

中国专利 :CN110211893A ,2019-09-06

[9]

晶圆测试方法及晶圆测试装置 [P].

石恒志 ;

刘刚 .

中国专利 :CN113725110B ,2024-03-29

[10]

晶圆测试方法及晶圆测试装置 [P].

周杰 ;

谢家红 ;

侯天宇 ;

田茂 .

中国专利 :CN108807212A ,2018-11-13

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