共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
半导体工艺配方自动获取方法、系统及半导体工艺设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111302143.4
申请日：
2021-11-04
公开(公告)号：
CN114091848B
公开(公告)日：
2025-04-11
发明(设计)人：
林源为
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
G06Q10/0631
IPC分类号：
G06Q10/0633
G06N3/08
G06N3/0499
G06F30/27
H01L21/67
代理机构：
北京思创毕升专利事务所 11218
代理人：
孙向民;廉莉莉
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-11 | 授权 | 授权 |