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一种半导体外延生长设备的母盘及外延生长设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411832273.2
申请日：
2024-09-03
公开(公告)号：
CN119800496A
公开(公告)日：
2025-04-11
发明(设计)人：
王涛
郭军强
王永
夏杨建
申请人：
一塔半导体（安徽）有限公司
申请人地址：
230601 安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号珠江路科技园B栋一层南侧103室
IPC主分类号：
C30B25/12
IPC分类号：
C23C16/458
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-11 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/12申请日:20240903 |