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一种半导体外延片生长设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120776380.3
申请日：
2021-04-16
公开(公告)号：
CN216039937U
公开(公告)日：
2022-03-15
发明(设计)人：
郑国
申请人：
申请人地址：
200240 上海市闵行区剑川路951号零号湾2号楼506
IPC主分类号：
C30B2508
IPC分类号：
C30B2906
代理机构：
上海国瓴律师事务所 31363
代理人：
傅耀
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-15 | 授权 | 授权 |