用于产生脉冲电子束的电子束设备和方法及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380068047.9

申请日：

2023-09-15

公开(公告)号：

CN119923705A

公开(公告)日：

2025-05-02

发明(设计)人：

阿明·费斯特克劳斯·罗珀斯鲁道夫·海因德

申请人：

马克思-普朗克科学促进协会

申请人地址：

德国慕尼黑

IPC主分类号：

H01J37/04

IPC分类号：

H01J37/073

代理机构：

北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413

代理人：

侯丽英;程强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-02	公开	公开
2025-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/04申请日:20230915

共 50 条

[1]

脉冲电子束聚合 [P].

道格拉斯·E·韦斯 ;

道格拉斯·S·邓恩 ;

罗伊·G·施莱默 .

中国专利 :CN1319997C ,2005-06-29

[2]

铁电电子束源和用于产生电子束的方法 [P].

森田慎三 .

中国专利 :CN1722356A ,2006-01-18

[3]

用于产生电子束的设备 [P].

G.马陶施 ;

P.法因奥格勒 ;

V.基尔希霍夫 ;

D.韦斯克 ;

H.弗拉斯克 ;

R.蔡贝 .

中国专利 :CN103299390B ,2013-09-11

[4]

电子源和电子束设备 [P].

光武英明 ;

中村尚人 ;

左纳义久 .

中国专利 :CN1108796A ,1995-09-20

[5]

电子束直写设备和电子束直写方法 [P].

王诗男 ;

刘强 .

中国专利 :CN117766361A ,2024-03-26

[6]

电子束直写设备和电子束直写方法 [P].

王诗男 ;

刘强 .

中国专利 :CN117766360A ,2024-03-26

[7]

电子束设备 [P].

伊庭润 ;

东尚史 .

中国专利 :CN100583348C ,2008-10-08

[8]

电子束设备 [P].

高田裕子 ;

伊庭润 .

中国专利 :CN101673646B ,2010-03-17

[9]

用于产生电子束的电子源 [P].

H·韦伯 ;

M·克里格 ;

C·奥特 .

中国专利 :CN114521282A ,2022-05-20

[10]

电子束出射窗口部件、电子束产生装置及电子束产生系统 [P].

朱晓东 ;

朱波龙 ;

杨宽 ;

马尧 ;

刘万东 .

中国专利 :CN109755086A ,2019-05-14

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