铁电电子束源和用于产生电子束的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510078809.7

申请日：

2005-05-17

公开(公告)号：

CN1722356A

公开(公告)日：

2006-01-18

发明(设计)人：

森田慎三

申请人：

申请人地址：

日本爱知县

IPC主分类号：

H01J3706

IPC分类号：

H01J3726 H01J902

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王永刚

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-04-22	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2006-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-01-18	公开	公开

共 50 条

[1]

用于产生电子束的电子源 [P].

H·韦伯 ;

M·克里格 ;

C·奥特 .

中国专利 :CN114521282A ,2022-05-20

[2]

用于产生脉冲电子束的电子束设备和方法及其应用 [P].

阿明·费斯特 ;

克劳斯·罗珀斯 ;

鲁道夫·海因德 .

德国专利 :CN119923705A ,2025-05-02

[3]

电子源和电子束设备 [P].

光武英明 ;

中村尚人 ;

左纳义久 .

中国专利 :CN1108796A ,1995-09-20

[4]

电子束出射窗口部件、电子束产生装置及电子束产生系统 [P].

朱晓东 ;

朱波龙 ;

杨宽 ;

马尧 ;

刘万东 .

中国专利 :CN109755086A ,2019-05-14

[5]

用于产生电子束的方法和装置 [P].

M·斯文松 ;

U·勒君布拉德 .

中国专利 :CN104272425A ,2015-01-07

[6]

用于产生电子束的设备 [P].

G.马陶施 ;

P.法因奥格勒 ;

V.基尔希霍夫 ;

D.韦斯克 ;

H.弗拉斯克 ;

R.蔡贝 .

中国专利 :CN103299390B ,2013-09-11

[7]

用于产生电子束的装置 [P].

V·利索特申克 .

中国专利 :CN104603078A ,2015-05-06

[8]

电子束描绘装置和电子束描绘方法 [P].

东矢高尚 .

中国专利 :CN101546134B ,2009-09-30

[9]

电子束直写设备和电子束直写方法 [P].

王诗男 ;

刘强 .

中国专利 :CN117766361A ,2024-03-26

[10]

电子束直写设备和电子束直写方法 [P].

王诗男 ;

刘强 .

中国专利 :CN117766360A ,2024-03-26

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