一种镍基复合氧化物溅射靶材及其制备方法、镍基复合氧化物薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510128773.6

申请日：

2025-02-05

公开(公告)号：

CN119913464A

公开(公告)日：

2025-05-02

发明(设计)人：

官凌宇李强林智成纪生晓王煜邱用雪杨涛

申请人：

福建阿石创新材料股份有限公司

申请人地址：

350200 福建省福州市长乐区航城街道琴江村太平里169号

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C22C29/12 C22C1/051 C23C14/08 C23C14/35

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

赵晓琳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

福建省福州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20250205
2025-05-02	公开	公开

共 50 条

[1]

镍镁复合氧化物及其制备方法 [P].

周健 ;

刘志成 ;

高焕新 .

中国专利 :CN103936083B ,2014-07-23

[2]

镍钴复合氧化物、镍钴掺杂氧化物及其制备方法 [P].

唐红辉 ;

李长东 ;

周汉章 ;

刘更好 ;

汤婕 ;

谭群英 .

中国专利 :CN102104147A ,2011-06-22

[3]

镍硅复合氧化物及其制备方法 [P].

刘志成 ;

曹焜 ;

高焕新 ;

杨为民 ;

许云风 .

中国专利 :CN103055913A ,2013-04-24

[4]

钼氧化物基烧结体、包含其的溅射靶材以及氧化物薄膜 [P].

黃炳辰 ;

李丞苡 ;

李孝元 ;

张逢中 ;

田奉埈 ;

秦承铉 ;

朴宰成 ;

杨丞浩 .

韩国专利 :CN118119574A ,2024-05-31

[5]

钼氧化物基烧结体、包含其的溅射靶材以及氧化物薄膜 [P].

黃炳辰 ;

李丞苡 ;

李孝元 ;

张逢中 ;

田奉埈 ;

秦承铉 ;

朴宰成 ;

杨丞浩 .

韩国专利 :CN118119575A ,2024-05-31

[6]

镍复合氧化物和锂镍复合氧化物的制造方法 [P].

川上裕二 ;

二瓶知伦 .

中国专利 :CN111247101A ,2020-06-05

[7]

锂镍复合氧化物及锂镍复合氧化物的制造方法 [P].

井上由裕 .

中国专利 :CN111918840A ,2020-11-10

[8]

一种镍铈复合氧化物的制备方法 [P].

何丹农 ;

袁静 ;

赵昆峰 ;

蔡婷 ;

高振源 ;

杨玲 ;

金彩虹 .

中国专利 :CN105251500A ,2016-01-20

[9]

复合氧化物烧结体、复合氧化物烧结体的制造方法、溅射靶及薄膜的制造方法 [P].

仓持豪人 ;

尾身健治 ;

市田正典 ;

饭草仁志 .

中国专利 :CN102089257B ,2011-06-08

[10]

氧化物溅射靶及其制造方法以及氧化物薄膜 [P].

宗安慧 ;

奈良淳史 .

日本专利 :CN114959594B ,2024-07-19

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