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具有静电卡盘的基板处理装置及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011371910.2
申请日：
2020-11-30
公开(公告)号：
CN112992639B
公开(公告)日：
2025-04-29
发明(设计)人：
野泽俊久
申请人：
ASMIP私人控股有限公司
申请人地址：
荷兰阿尔梅勒
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H01L21/683
C23C16/458
C23C16/50
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
王冉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-29 | 授权 | 授权 |