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静电卡盘、基板处理装置以及基板保持方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910293463.4
申请日：
2019-04-12
公开(公告)号：
CN110379757B
公开(公告)日：
2024-03-22
发明(设计)人：
佐佐木康晴
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-22 | 授权 | 授权 |