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一种带防污旋转护罩的旋转阴极
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421677518.4
申请日：
2024-07-15
公开(公告)号：
CN222809531U
公开(公告)日：
2025-04-29
发明(设计)人：
朱世元
柯绍锴
申请人：
金耀真空设备（中山）有限公司
申请人地址：
528400 广东省中山市板芙镇智科路3号中南高科板芙智能装备制造项目12栋2单元1层
IPC主分类号：
C23C14/35
IPC分类号：
代理机构：
中山市科创专利代理有限公司 44211
代理人：
尹文涛
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-29 | 授权 | 授权 |