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一种用于旋转阴极的磁棒
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202021920519.9
申请日
:
2020-09-04
公开(公告)号
:
CN213113479U
公开(公告)日
:
2021-05-04
发明(设计)人
:
李忠
申请人
:
申请人地址
:
610100 四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)星光西路24号实德工业园
IPC主分类号
:
C23C1435
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-05-04
授权
授权
共 50 条
[1]
旋转阴极磁棒
[P].
王正安
论文数:
0
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0
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0
王正安
.
中国专利
:CN209816264U
,2019-12-20
[2]
旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材
[P].
赵军
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赵军
;
刘钧
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刘钧
;
陈金良
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陈金良
;
许倩斐
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许倩斐
.
中国专利
:CN203999794U
,2014-12-10
[3]
一种旋转阴极磁棒装置
[P].
杨宏斌
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0
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杨宏斌
;
冷庆吉
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冷庆吉
.
中国专利
:CN205893380U
,2017-01-18
[4]
旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材
[P].
赵军
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赵军
;
刘钧
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刘钧
;
陈金良
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陈金良
;
许倩斐
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0
许倩斐
.
中国专利
:CN103993276B
,2014-08-20
[5]
一种可调节的旋转阴极磁棒
[P].
庄正军
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庄正军
;
刘宁杰
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刘宁杰
;
上官泉元
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上官泉元
;
上官建兴
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上官建兴
;
上官小兴
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上官小兴
.
中国专利
:CN217173853U
,2022-08-12
[6]
用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置
[P].
丛峰
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丛峰
.
中国专利
:CN212321822U
,2021-01-08
[7]
一种旋转阴极磁棒装置
[P].
杨宏斌
论文数:
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杨宏斌
;
冷庆吉
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冷庆吉
.
中国专利
:CN105714261A
,2016-06-29
[8]
一种可调节的旋转阴极磁棒
[P].
赵伟
论文数:
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机构:
杭州富博精密机械有限公司
杭州富博精密机械有限公司
赵伟
;
任财
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机构:
杭州富博精密机械有限公司
杭州富博精密机械有限公司
任财
.
中国专利
:CN222861607U
,2025-05-13
[9]
一种旋转阴极磁棒形变支撑板结构
[P].
匡国庆
论文数:
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机构:
镇江市德利克真空设备科技有限公司
镇江市德利克真空设备科技有限公司
匡国庆
.
中国专利
:CN223535192U
,2025-11-11
[10]
磁控溅射用的旋转阴极磁棒
[P].
来华杭
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来华杭
;
俞峰
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俞峰
;
刘杰
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刘杰
;
施成亮
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施成亮
;
江嘉
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江嘉
;
周海龙
论文数:
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周海龙
.
中国专利
:CN111621760A
,2020-09-04
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