一种用于旋转阴极的磁棒

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专利类型
实用新型
申请号
CN202021920519.9
申请日
2020-09-04
公开(公告)号
CN213113479U
公开(公告)日
2021-05-04
发明(设计)人
李忠
申请人
申请人地址
610100 四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)星光西路24号实德工业园
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
旋转阴极磁棒 [P]. 
王正安 .
中国专利 :CN209816264U ,2019-12-20
[2]
旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材 [P]. 
赵军 ;
刘钧 ;
陈金良 ;
许倩斐 .
中国专利 :CN203999794U ,2014-12-10
[3]
一种旋转阴极磁棒装置 [P]. 
杨宏斌 ;
冷庆吉 .
中国专利 :CN205893380U ,2017-01-18
[4]
旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材 [P]. 
赵军 ;
刘钧 ;
陈金良 ;
许倩斐 .
中国专利 :CN103993276B ,2014-08-20
[5]
一种可调节的旋转阴极磁棒 [P]. 
庄正军 ;
刘宁杰 ;
上官泉元 ;
上官建兴 ;
上官小兴 .
中国专利 :CN217173853U ,2022-08-12
[6]
用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置 [P]. 
丛峰 .
中国专利 :CN212321822U ,2021-01-08
[7]
一种旋转阴极磁棒装置 [P]. 
杨宏斌 ;
冷庆吉 .
中国专利 :CN105714261A ,2016-06-29
[8]
一种可调节的旋转阴极磁棒 [P]. 
赵伟 ;
任财 .
中国专利 :CN222861607U ,2025-05-13
[9]
一种旋转阴极磁棒形变支撑板结构 [P]. 
匡国庆 .
中国专利 :CN223535192U ,2025-11-11
[10]
磁控溅射用的旋转阴极磁棒 [P]. 
来华杭 ;
俞峰 ;
刘杰 ;
施成亮 ;
江嘉 ;
周海龙 .
中国专利 :CN111621760A ,2020-09-04