旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410197122.4

申请日：

2014-05-12

公开(公告)号：

CN103993276B

公开(公告)日：

2014-08-20

发明(设计)人：

赵军刘钧陈金良许倩斐

申请人：

申请人地址：

312300 浙江省绍兴市绍兴滨海新城畅和路7号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232

代理人：

赵卫康

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586960062 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2014101971224 申请日:20140512
2016-09-28	授权	授权
2014-08-20	公开	公开

共 50 条

[1]

旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材 [P].

赵军 ;

刘钧 ;

陈金良 ;

许倩斐 .

中国专利 :CN203999794U ,2014-12-10

[2]

旋转阴极磁棒 [P].

王正安 .

中国专利 :CN209816264U ,2019-12-20

[3]

磁控溅射用的旋转阴极磁棒 [P].

来华杭 ;

俞峰 ;

刘杰 ;

施成亮 ;

江嘉 ;

周海龙 .

中国专利 :CN111621760A ,2020-09-04

[4]

一种旋转阴极磁棒装置 [P].

杨宏斌 ;

冷庆吉 .

中国专利 :CN105714261A ,2016-06-29

[5]

一种旋转阴极磁棒装置 [P].

杨宏斌 ;

冷庆吉 .

中国专利 :CN205893380U ,2017-01-18

[6]

一种用于旋转阴极的磁棒 [P].

李忠 .

中国专利 :CN213113479U ,2021-05-04

[7]

磁控溅射用的旋转阴极磁棒及磁控管 [P].

周振国 ;

杨肸曦 ;

彭孝龙 ;

张永胜 ;

董刚强 ;

莫超超 ;

解传佳 ;

梁得刚 .

中国专利 :CN217459573U ,2022-09-20

[8]

一种可调节的旋转阴极磁棒 [P].

庄正军 ;

刘宁杰 ;

上官泉元 ;

上官建兴 ;

上官小兴 .

中国专利 :CN217173853U ,2022-08-12

[9]

一种可调节的旋转阴极磁棒 [P].

赵伟 ;

任财 .

中国专利 :CN222861607U ,2025-05-13

[10]

用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置 [P].

丛峰 .

中国专利 :CN212321822U ,2021-01-08

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