一种可调节的旋转阴极磁棒

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421590519.5

申请日：

2024-07-08

公开(公告)号：

CN222861607U

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

赵伟任财

申请人：

杭州富博精密机械有限公司

申请人地址：

310000 浙江省杭州市富阳区永昌镇永昌新街518号综合楼220室

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

代理机构：

杭州智达杭科专利代理事务所(普通合伙) 33512

代理人：

王淳佳

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种可调节的旋转阴极磁棒 [P].

庄正军 ;

刘宁杰 ;

上官泉元 ;

上官建兴 ;

上官小兴 .

中国专利 :CN217173853U ,2022-08-12

[2]

一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒 [P].

张俊峰 ;

赵子东 ;

许春立 ;

魏庆瑄 .

中国专利 :CN211420298U ,2020-09-04

[3]

旋转阴极磁棒 [P].

王正安 .

中国专利 :CN209816264U ,2019-12-20

[4]

旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材 [P].

赵军 ;

刘钧 ;

陈金良 ;

许倩斐 .

中国专利 :CN203999794U ,2014-12-10

[5]

旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材 [P].

赵军 ;

刘钧 ;

陈金良 ;

许倩斐 .

中国专利 :CN103993276B ,2014-08-20

[6]

一种在线调节磁场的旋转阴极磁棒及在线调节方法 [P].

匡国庆 .

中国专利 :CN119800303A ,2025-04-11

[7]

一种可调节磁场的旋转阴极磁棒和磁控溅射设备 [P].

游锦山 .

中国专利 :CN115537748A ,2022-12-30

[8]

一种用于旋转阴极的磁棒 [P].

李忠 .

中国专利 :CN213113479U ,2021-05-04

[9]

一种旋转阴极磁棒装置 [P].

杨宏斌 ;

冷庆吉 .

中国专利 :CN105714261A ,2016-06-29

[10]

一种旋转阴极磁棒装置 [P].

杨宏斌 ;

冷庆吉 .

中国专利 :CN205893380U ,2017-01-18

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