旋转阴极磁棒

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822218023.6

申请日：

2018-12-27

公开(公告)号：

CN209816264U

公开(公告)日：

2019-12-20

发明(设计)人：

王正安

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京金信知识产权代理有限公司 11225

代理人：

喻嵘;郭迎侠

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-13	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20210331 变更事项:专利权人变更前权利人:北京顶荣光伏科技有限公司变更后权利人:深圳正粤开发建设有限公司变更事项:地址变更前权利人:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室变更后权利人:518054 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
2021-04-13	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更事项:专利权人变更前:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司变更后:北京顶荣光伏科技有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室变更后:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
2021-09-07	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20210826 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳正粤开发建设有限公司变更后权利人:上海祖强能源有限公司变更事项:地址变更前权利人:518054 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司) 变更后权利人:201210 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路665号三层
2019-12-20	授权	授权

共 50 条

[1]

旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材 [P].

赵军 ;

刘钧 ;

陈金良 ;

许倩斐 .

中国专利 :CN203999794U ,2014-12-10

[2]

旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材 [P].

赵军 ;

刘钧 ;

陈金良 ;

许倩斐 .

中国专利 :CN103993276B ,2014-08-20

[3]

一种旋转阴极磁棒装置 [P].

杨宏斌 ;

冷庆吉 .

中国专利 :CN205893380U ,2017-01-18

[4]

一种用于旋转阴极的磁棒 [P].

李忠 .

中国专利 :CN213113479U ,2021-05-04

[5]

一种可调节的旋转阴极磁棒 [P].

庄正军 ;

刘宁杰 ;

上官泉元 ;

上官建兴 ;

上官小兴 .

中国专利 :CN217173853U ,2022-08-12

[6]

用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置 [P].

丛峰 .

中国专利 :CN212321822U ,2021-01-08

[7]

一种旋转阴极磁棒装置 [P].

杨宏斌 ;

冷庆吉 .

中国专利 :CN105714261A ,2016-06-29

[8]

磁控溅射用的旋转阴极磁棒 [P].

来华杭 ;

俞峰 ;

刘杰 ;

施成亮 ;

江嘉 ;

周海龙 .

中国专利 :CN111621760A ,2020-09-04

[9]

磁控溅射用的旋转阴极磁棒及磁控管 [P].

周振国 ;

杨肸曦 ;

彭孝龙 ;

张永胜 ;

董刚强 ;

莫超超 ;

解传佳 ;

梁得刚 .

中国专利 :CN217459573U ,2022-09-20

[10]

一种旋转阴极磁棒形变支撑板结构 [P].

匡国庆 .

中国专利 :CN223535192U ,2025-11-11

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