一种旋转阴极磁棒装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610237800.4

申请日：

2016-04-15

公开(公告)号：

CN105714261A

公开(公告)日：

2016-06-29

发明(设计)人：

杨宏斌冷庆吉

申请人：

申请人地址：

065000 河北省廊坊市固安县工业园区北区

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265

代理人：

叶树明

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20160629
2017-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101695896928 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2016102378004 申请日:20160415
2016-06-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种旋转阴极磁棒装置 [P].

杨宏斌 ;

冷庆吉 .

中国专利 :CN205893380U ,2017-01-18

[2]

旋转阴极磁棒 [P].

王正安 .

中国专利 :CN209816264U ,2019-12-20

[3]

旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材 [P].

赵军 ;

刘钧 ;

陈金良 ;

许倩斐 .

中国专利 :CN203999794U ,2014-12-10

[4]

旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材 [P].

赵军 ;

刘钧 ;

陈金良 ;

许倩斐 .

中国专利 :CN103993276B ,2014-08-20

[5]

一种用于旋转阴极的磁棒 [P].

李忠 .

中国专利 :CN213113479U ,2021-05-04

[6]

一种可调节的旋转阴极磁棒 [P].

庄正军 ;

刘宁杰 ;

上官泉元 ;

上官建兴 ;

上官小兴 .

中国专利 :CN217173853U ,2022-08-12

[7]

一种可调节的旋转阴极磁棒 [P].

赵伟 ;

任财 .

中国专利 :CN222861607U ,2025-05-13

[8]

一种旋转阴极磁棒磁场自动标定装置 [P].

刘自强 ;

俞峰 ;

周海龙 ;

张永夫 .

中国专利 :CN106707204A ,2017-05-24

[9]

一种旋转阴极磁棒形变支撑板结构 [P].

匡国庆 .

中国专利 :CN223535192U ,2025-11-11

[10]

磁控溅射用的旋转阴极磁棒 [P].

来华杭 ;

俞峰 ;

刘杰 ;

施成亮 ;

江嘉 ;

周海龙 .

中国专利 :CN111621760A ,2020-09-04

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