MEMS压力传感器及压力检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421575303.1

申请日：

2024-07-04

公开(公告)号：

CN222800214U

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

许森

申请人：

上海芯绒科技有限公司

申请人地址：

200240 上海市闵行区剑川路950号8号楼

IPC主分类号：

G01L1/20

IPC分类号：

B81B7/02 G01L9/06

代理机构：

北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226

代理人：

魏言笑

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS压力传感器、制备方法及压力检测装置 [P].

许森 .

中国专利 :CN118811767A ,2024-10-22

[2]

MEMS压力传感器以及压力检测装置 [P].

刘俊 ;

丁金玲 ;

刘建华 .

中国专利 :CN222784223U ,2025-04-22

[3]

MEMS压力传感器制造方法及MEMS压力传感器 [P].

朱恩成 ;

陈磊 ;

张强 ;

闫文明 .

中国专利 :CN113432777A ,2021-09-24

[4]

MEMS压力传感器、压力检测装置及其制造方法 [P].

刘俊 ;

丁金玲 ;

刘建华 .

中国专利 :CN118294046A ,2024-07-05

[5]

MEMS 压力传感器 [P].

谢勇 .

中国专利 :CN205120298U ,2016-03-30

[6]

MEMS压力传感器的封装结构及MEMS压力传感器 [P].

王小平 ;

曹万 .

中国专利 :CN214010597U ,2021-08-20

[7]

MEMS压力传感器 [P].

湛邵斌 ;

霍红颖 ;

胡涛 ;

高月芳 ;

王新中 .

中国专利 :CN206876312U ,2018-01-12

[8]

MEMS压力传感器 [P].

湛邵斌 ;

霍红颖 ;

胡涛 ;

高月芳 ;

王新中 .

中国专利 :CN107144378A ,2017-09-08

[9]

MEMS压力传感器 [P].

张睿 ;

康婷 .

中国专利 :CN105203233A ,2015-12-30

[10]

MEMS压力传感器 [P].

焦祥锟 ;

孙斌燕 ;

李晓波 ;

范泽龙 ;

焦振楠 .

中国专利 :CN117804650A ,2024-04-02

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