用于确定投影系统的像差的方法和系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380070773.4

申请日：

2023-09-14

公开(公告)号：

CN119907948A

公开(公告)日：

2025-04-29

发明(设计)人：

P·J·M·格林

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

G03F7/20 G01M11/02 G01B9/02098 G01J9/02 G01M11/00

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王益

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	公开	公开
2025-10-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20230914

共 50 条

[1]

确定光刻装置的投影系统的像差的方法 [P].

J·J·M·巴塞曼斯 ;

H·V·科克 .

中国专利 :CN100570487C ,2005-09-28

[2]

用于预测投影系统中的像差的方法和设备 [P].

M·阿柯斯塞 ;

L·J·A·凡鲍克霍文 .

中国专利 :CN113557476A ,2021-10-26

[3]

用于预测投影系统中的像差的方法和设备 [P].

M·阿柯斯塞 ;

L·J·A·凡鲍克霍文 .

:CN113557476B ,2024-04-30

[4]

用于预测投影系统中的像差的测量装置和方法 [P].

M·C·沙夫斯玛 ;

M·阿克萨 ;

J·R·唐斯 .

中国专利 :CN111758076A ,2020-10-09

[5]

用于预测投影系统中的像差的测量装置和方法 [P].

M·C·沙夫斯玛 ;

M·阿克萨 ;

J·R·唐斯 .

:CN111758076B ,2024-02-09

[6]

用于确定光学像差的方法和设备 [P].

D·Y·C·琼 ;

P·C·德赫罗特 ;

约翰内斯·雅各布斯·玛塞尤斯·巴塞尔曼斯 ;

R·J·伍德 .

中国专利 :CN111670413A ,2020-09-15

[7]

用于车辆的投影系统、车辆和用于运行投影系统的方法 [P].

杨笑非 .

德国专利 :CN119439597A ,2025-02-14

[8]

用于车辆的投影系统、车辆和用于运行投影系统的方法 [P].

杨笑非 .

德国专利 :CN119087730A ,2024-12-06

[9]

投影系统和驱动投影系统的方法 [P].

J·P·佩蒂埃拉 ;

M·J·理查兹 ;

C·L·C·勒巴本琼 ;

A·M·皮雷斯阿里法诺 .

中国专利 :CN114930810A ,2022-08-19

[10]

投影系统和投影系统的控制方法 [P].

八木雅斗 .

中国专利 :CN114245879A ,2022-03-25

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