液供给装置、液供给方法以及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411432203.8

申请日：

2024-10-14

公开(公告)号：

CN119890072A

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

长田创奥田胜也岩永尚大小佐井一树

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

F17D1/14 F17D1/18 F17D3/01 F17D3/18

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李靖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	公开	公开

共 50 条

[1]

液供给装置、液供给方法以及存储介质 [P].

长田创 ;

奥田胜也 ;

岩永尚大 ;

小佐井一树 ;

盐川俊行 .

日本专利 :CN119890074A ,2025-04-25

[2]

处理液供给装置、处理液供给方法以及存储介质 [P].

矢野英嗣 .

中国专利 :CN115513089A ,2022-12-23

[3]

处理液供给方法、处理液供给装置和存储介质 [P].

吉田勇一 ;

内藤亮一郎 ;

古庄智伸 .

中国专利 :CN103706523A ,2014-04-09

[4]

处理液供给装置、处理液供给方法和存储介质 [P].

风间晃太 .

日本专利 :CN120487578A ,2025-08-15

[5]

处理液供给系统、处理液供给方法以及存储介质 [P].

守田寿 ;

木村裕二 ;

山本裕介 .

日本专利 :CN120497155A ,2025-08-15

[6]

处理液供给系统、处理液供给方法以及存储介质 [P].

守田寿 ;

木村裕二 ;

山本裕介 ;

永井高志 .

日本专利 :CN120453193A ,2025-08-08

[7]

液供给装置、液供给方法和计算机存储介质 [P].

若水信也 ;

一野克宪 .

中国专利 :CN114713397A ,2022-07-08

[8]

液供给装置和液供给方法 [P].

内藤亮一郎 ;

林圣人 ;

志手英男 ;

井手裕幸 ;

龟田洋介 ;

户塚诚也 ;

舞田集 ;

佐藤尊三 ;

荒木洋史 ;

吉原健太郎 .

中国专利 :CN111433888A ,2020-07-17

[9]

处理液供给方法和处理液供给装置 [P].

志手英男 ;

木村一彦 ;

汤本知行 .

中国专利 :CN106024579A ,2016-10-12

[10]

处理液供给装置、设备单元、处理液供给方法和存储介质 [P].

志手英男 ;

吉原孝介 ;

吉田勇一 ;

吉原健太郎 .

中国专利 :CN107470051A ,2017-12-15

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