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选择性外延生长方法及该方法生成的半导体结构
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202311637517.7
申请日
:
2023-12-01
公开(公告)号
:
CN120089591A
公开(公告)日
:
2025-06-03
发明(设计)人
:
周亦康
张庆超
申请人
:
北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
申请人地址
:
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层
IPC主分类号
:
H01L21/02
IPC分类号
:
代理机构
:
北京市盈科律师事务所 11344
代理人
:
岳蕊
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-06-20
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20231201
2025-06-03
公开
公开
共 50 条
[1]
使用选择性外延生长制造的半导体器件
[P].
约瑟夫·尼尔·梅雷特
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
约瑟夫·尼尔·梅雷特
;
伊戈尔·桑金
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
伊戈尔·桑金
.
中国专利
:CN102856387A
,2013-01-02
[2]
硅外延生长方法及半导体结构
[P].
宋洋
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
宋洋
;
马雁飞
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
马雁飞
;
叶康
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
叶康
.
中国专利
:CN110544620A
,2019-12-06
[3]
无缺陷选择性外延的生长方法
[P].
高杏
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
高杏
.
中国专利
:CN103165419A
,2013-06-19
[4]
提高选择性外延生长的生长速率的方法
[P].
阿布舍克·杜贝
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
阿布舍克·杜贝
;
李学斌
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
李学斌
;
黄奕樵
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
黄奕樵
;
仲华
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
仲华
;
舒伯特·S·楚
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
舒伯特·S·楚
.
中国专利
:CN107430994B
,2017-12-01
[5]
提高选择性外延生长的生长速率的方法
[P].
阿布舍克·杜贝
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
阿布舍克·杜贝
;
李学斌
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
李学斌
;
黄奕樵
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
黄奕樵
;
仲华
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
仲华
;
舒伯特·S·楚
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
舒伯特·S·楚
.
中国专利
:CN114551229A
,2022-05-27
[6]
外延层、外延层生长方法及半导体结构
[P].
赵旭熠
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海新微半导体有限公司
上海新微半导体有限公司
赵旭熠
;
王玮竹
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海新微半导体有限公司
上海新微半导体有限公司
王玮竹
;
尚金铭
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海新微半导体有限公司
上海新微半导体有限公司
尚金铭
.
中国专利
:CN119800494A
,2025-04-11
[7]
衬底上外延层的生长方法及半导体结构
[P].
荣维龙
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海新傲科技股份有限公司
上海新傲科技股份有限公司
荣维龙
;
李炜
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海新傲科技股份有限公司
上海新傲科技股份有限公司
李炜
;
张昱
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海新傲科技股份有限公司
上海新傲科技股份有限公司
张昱
;
曹亮
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海新傲科技股份有限公司
上海新傲科技股份有限公司
曹亮
;
王滔
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海新傲科技股份有限公司
上海新傲科技股份有限公司
王滔
.
中国专利
:CN119170485A
,2024-12-20
[8]
选择性外延生长工艺的前处理方法及半导体器件制造方法
[P].
高剑琴
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
高剑琴
;
周海锋
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
周海锋
;
谭俊
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
谭俊
.
中国专利
:CN103943494A
,2014-07-23
[9]
掩膜成核消除方法以及选择性外延生长方法
[P].
王灼平
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
王灼平
;
黄锦才
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
黄锦才
.
中国专利
:CN102354659A
,2012-02-15
[10]
半导体外延结构和半导体外延生长方法
[P].
张海林
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
徐州致能半导体有限公司
徐州致能半导体有限公司
张海林
;
陈龙
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
徐州致能半导体有限公司
徐州致能半导体有限公司
陈龙
;
刘庆波
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
徐州致能半导体有限公司
徐州致能半导体有限公司
刘庆波
;
黎子兰
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
徐州致能半导体有限公司
徐州致能半导体有限公司
黎子兰
.
中国专利
:CN120187055A
,2025-06-20
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