压力传感器及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410300631.9
申请日
2024-03-15
公开(公告)号
CN118482841B
公开(公告)日
2025-05-27
发明(设计)人
曹欣怡 陈中 李晓波
申请人
苏州紫芯微电子有限公司
申请人地址
215009 江苏省苏州市苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢516室
IPC主分类号
G01L1/18
IPC分类号
B81B7/02 B81B7/00 B81C1/00
代理机构
北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226
代理人
李明;赵吉阳
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
压力传感器及其制备方法 [P]. 
曹欣怡 ;
陈中 ;
李晓波 .
中国专利 :CN118482841A ,2024-08-13
[2]
一种压力传感器及其制备方法 [P]. 
武斌 ;
许克宇 .
中国专利 :CN113252232B ,2025-07-15
[3]
一种压力传感器及其制备方法 [P]. 
许克宇 ;
武斌 .
中国专利 :CN113390552A ,2021-09-14
[4]
一种压力传感器及其制备方法 [P]. 
许克宇 ;
武斌 .
中国专利 :CN113390552B ,2025-07-11
[5]
一种压力传感器及其制备方法 [P]. 
武斌 ;
许克宇 .
中国专利 :CN113252232A ,2021-08-13
[6]
压力传感器、压力传感器阵列及其制备方法 [P]. 
郭小军 ;
陈苏杰 ;
唐伟 ;
赵家庆 .
中国专利 :CN107843364A ,2018-03-27
[7]
一种MEMS压力传感器及其制备方法 [P]. 
张志强 ;
邹祉晗 ;
李良伟 ;
黄晓东 .
中国专利 :CN114235233A ,2022-03-25
[8]
一种MEMS压力传感器及其制备方法 [P]. 
张志强 ;
邹祉晗 ;
李良伟 ;
黄晓东 .
中国专利 :CN114235233B ,2024-01-05
[9]
压力传感器及其制备方法 [P]. 
冯雪 ;
王志建 ;
杜琦峰 ;
陈颖 .
中国专利 :CN111024296A ,2020-04-17
[10]
压力传感器及其制备方法 [P]. 
李昆 ;
李文杰 ;
冯叶 ;
钟国华 ;
童君 ;
隋帆 ;
杨春雷 .
中国专利 :CN107907251B ,2018-04-13