在互连结构中形成扩散阻挡层的方法及扩散阻挡层

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510071008.5

申请日：

2025-01-16

公开(公告)号：

CN119993907A

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

张睫灵李秋茂林昭宏

申请人：

重庆芯联微电子有限公司

申请人地址：

401331 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153

IPC主分类号：

H01L21/768

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

罗泳文

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-13	公开	公开
2025-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/768申请日:20250116

共 50 条

[1]

扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法 [P].

M·哈拉兹奥尔松 ;

H·特兰夸克 ;

A·加利相 .

中国专利 :CN1977404A ,2007-06-06

[2]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

P·温斯顿 ;

B·E·史蒂文斯 .

中国专利 :CN107206421A ,2017-09-26

[3]

扩散阻挡层、金属互连结构及其制造方法 [P].

马小龙 ;

殷华湘 ;

赵利川 .

中国专利 :CN103296006A ,2013-09-11

[4]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN110053423A ,2019-07-26

[5]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104870107A ,2015-08-26

[6]

铜扩散阻挡层的形成 [P].

史蒂文·约翰斯顿 ;

瓦莱利·迪宾 ;

迈克尔·麦克斯威尼 ;

彼得·穆恩 .

中国专利 :CN1708845A ,2005-12-14

[7]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104114286A ,2014-10-22

[8]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN107101587A ,2017-08-29

[9]

合金扩散阻挡层 [P].

N·戴德文德 ;

S·F·帕沃内 ;

C·D·马纳克 .

中国专利 :CN111052362A ,2020-04-21

[10]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

刘洋 ;

何丹丹 ;

汪雷 ;

王婷 .

中国专利 :CN110970350A ,2020-04-07

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