扩散阻挡层、金属互连结构及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210044177.2

申请日：

2012-02-24

公开(公告)号：

CN103296006A

公开(公告)日：

2013-09-11

发明(设计)人：

马小龙殷华湘赵利川

申请人：

申请人地址：

100083 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L23532

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

倪斌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-11	公开	公开
2013-10-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101529132033 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:2012100441772 申请日:20120224
2016-03-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101730256117 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:2012100441772 申请公布日:20130911

共 50 条

[1]

在互连结构中形成扩散阻挡层的方法及扩散阻挡层 [P].

张睫灵 ;

李秋茂 ;

林昭宏 .

中国专利 :CN119993907A ,2025-05-13

[2]

铜互连用扩散阻挡层、铜互连结构及其制备方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119673891A ,2025-03-21

[3]

扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法 [P].

M·哈拉兹奥尔松 ;

H·特兰夸克 ;

A·加利相 .

中国专利 :CN1977404A ,2007-06-06

[4]

金属互连结构、半导体器件及提高扩散阻挡层性能的方法 [P].

张丹 ;

罗军 ;

许静 ;

叶甜春 .

中国专利 :CN112652607A ,2021-04-13

[5]

一种扩散阻挡层制备方法及铜互连结构 [P].

张静 .

中国专利 :CN107195582A ,2017-09-22

[6]

具有阻挡层冗余特征的互连结构 [P].

杨智超 ;

L·L·休 .

中国专利 :CN101038905A ,2007-09-19

[7]

具有自形成扩散阻挡层的低电阻率金属互连结构 [P].

H·P·阿曼亚普 ;

C·B·皮萨拉 ;

R·R·帕特洛拉 ;

杨智超 ;

T·诺加米 .

中国专利 :CN111566800B ,2020-08-21

[8]

具有自形成扩散阻挡层的低电阻率金属互连结构 [P].

H·P·阿曼亚普 ;

C·B·皮萨拉 ;

R·R·帕特洛拉 ;

杨智超 ;

T·诺加米 .

中国专利 :CN115332166A ,2022-11-11

[9]

碱金属扩散阻挡层 [P].

J·J·芬雷 ;

F·H·吉勒理 .

中国专利 :CN1134920A ,1996-11-06

[10]

碱金属扩散阻挡层 [P].

J·J·芬雷 ;

F·H·吉勒里 .

中国专利 :CN1162575A ,1997-10-22

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