一种扩散阻挡层制备方法及铜互连结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710534981.1

申请日：

2017-07-03

公开(公告)号：

CN107195582A

公开(公告)日：

2017-09-22

发明(设计)人：

张静

申请人：

申请人地址：

100144 北京市石景山区晋元庄路5号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

北京金咨知识产权代理有限公司 11612

代理人：

宋教花

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-12	授权	授权
2017-09-22	公开	公开
2017-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20170703

共 50 条

[1]

铜互连用扩散阻挡层、铜互连结构及其制备方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119673891A ,2025-03-21

[2]

一种采用新型扩散阻挡层的铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

谢立恒 ;

孙清清 ;

王鹏飞 ;

丁士进 ;

张卫 .

中国专利 :CN102693958A ,2012-09-26

[3]

在互连结构中形成扩散阻挡层的方法及扩散阻挡层 [P].

张睫灵 ;

李秋茂 ;

林昭宏 .

中国专利 :CN119993907A ,2025-05-13

[4]

一种铜互连扩散阻挡层及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

张远 ;

丁士进 ;

张卫 .

中国专利 :CN103928440A ,2014-07-16

[5]

扩散阻挡层、金属互连结构及其制造方法 [P].

马小龙 ;

殷华湘 ;

赵利川 .

中国专利 :CN103296006A ,2013-09-11

[6]

用于互连结构的阻挡层及其制备方法 [P].

杨弦龙 ;

姜德新 .

中国专利 :CN113675171A ,2021-11-19

[7]

扩散阻挡层与铜互连线层制作的方法 [P].

罗先刚 ;

乔帮威 ;

高平 ;

向遥 ;

曾鑫 ;

邓坤 .

中国专利 :CN117524979A ,2024-02-06

[8]

复合铜扩散阻挡层及其制备方法 [P].

贺忻 ;

方精训 ;

童智钊 ;

朱亚丹 ;

桑宁波 .

中国专利 :CN103199083A ,2013-07-10

[9]

铜扩散阻挡层的制备方法 [P].

朱德龙 .

中国专利 :CN110957264A ,2020-04-03

[10]

一种自组装扩散阻挡层铜互连材料及其制备方法 [P].

汪蕾 ;

李旭 ;

董松涛 ;

王琦 ;

李源梁 ;

朱熠霖 .

中国专利 :CN109706429A ,2019-05-03

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