晶片抛光机水槽及晶片抛光机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421618029.1

申请日：

2024-07-09

公开(公告)号：

CN222843689U

公开(公告)日：

2025-05-09

发明(设计)人：

章姣林义复

申请人：

通威微电子有限公司

申请人地址：

610299 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内

IPC主分类号：

B24B1/00

IPC分类号：

B24B41/06

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

戴尧罡

法律状态：

授权

国省代码：

四川省成都市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-09	授权	授权

共 50 条

[1]

晶片抛光机 [P].

吴康 ;

殷国祥 ;

王绍鸿 ;

王鸿伟 ;

黄国洪 ;

胡文宏 ;

孟进有 .

中国专利 :CN202114607U ,2012-01-18

[2]

晶片单面抛光机 [P].

李明 ;

陈明寿 ;

杨理 .

中国专利 :CN302020928S ,2012-08-01

[3]

抛光机晶片保持器 [P].

D.M.赫顿 ;

G.W.维默斯伯格 ;

M.L.帕加诺 .

中国专利 :CN108527155A ,2018-09-14

[4]

半导体晶片抛光机 [P].

张学良 ;

罗颖渊 ;

唐敏 ;

王泽胜 .

中国专利 :CN115674005A ,2023-02-03

[5]

一种晶片抛光机 [P].

俞平 .

中国专利 :CN210650092U ,2020-06-02

[6]

一种晶片抛光机 [P].

潘芳琳 .

中国专利 :CN208358576U ,2019-01-11

[7]

抛光机的夹紧装置及抛光机 [P].

冯志新 .

中国专利 :CN218254352U ,2023-01-10

[8]

邹晓洪 ;

史旭峰 ;

尹盛星 .

中国专利 :CN107838800A ,2018-03-27

[9]

王珠峰 ;

王茜 ;

王胜军 ;

熊明 ;

郭俊阳 ;

杨连刚 ;

宋金鹏 ;

田盼盼 ;

黄锐 ;

王艳丽 ;

周中也 .

中国专利 :CN210293853U ,2020-04-10

[10]

抛光机头座及抛光机 [P].

金炜杰 .

中国专利 :CN209207202U ,2019-08-06

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