一种硅片生产的清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421472945.9

申请日：

2024-06-25

公开(公告)号：

CN222856102U

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

司伟吕云川张静雯杜亮

申请人：

洛阳晶半电子科技有限公司

申请人地址：

471000 河南省洛阳市西工区红山乡张岭村刘楼十二组

IPC主分类号：

B08B3/02

IPC分类号：

B08B3/14 B08B13/00 H01L21/67

代理机构：

北京牛思巴巴知识产权代理有限公司 16203

代理人：

韩国强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于硅片生产的洁净型清洗设备 [P].

何帆 ;

贾曦 ;

张东 ;

邓茹 ;

梅艳 .

中国专利 :CN207170382U ,2018-04-03

[2]

一种硅片脱胶清洗设备 [P].

方勇华 ;

詹玉峰 ;

陈跃华 ;

方萌 .

中国专利 :CN214348484U ,2021-10-08

[3]

一种清洗装置及硅片生产设备 [P].

高萌 .

中国专利 :CN222077346U ,2024-11-29

[4]

一种硅片清洗设备 [P].

白如意 ;

王志广 ;

王强 ;

马玉水 .

中国专利 :CN221994420U ,2024-11-12

[5]

一种硅片生产清洗装置 [P].

陈帅 .

中国专利 :CN222326045U ,2025-01-10

[6]

硅片清洗装置及硅片清洗设备 [P].

朱伟 ;

谢宇宽 ;

季建 .

中国专利 :CN221657290U ,2024-09-06

[7]

一种硅片清洗装置 [P].

江水德 .

中国专利 :CN211980580U ,2020-11-20

[8]

硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN209119058U ,2019-07-16

[9]

一种自动硅片清洗设备 [P].

冯艳林 .

中国专利 :CN210006702U ,2020-01-31

[10]

一种硅片加工清洗设备 [P].

余爱生 ;

张娟娟 .

中国专利 :CN217191166U ,2022-08-16

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