共焦测量系统及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211087817.8

申请日：

2022-09-07

公开(公告)号：

CN115493517B

公开(公告)日：

2025-05-30

发明(设计)人：

糜小涛王之一王建立王廷煜杨永强杨禹凯刘昌华全胜姚凯男

申请人：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/26

代理机构：

长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214

代理人：

王丹阳

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	授权	授权

共 50 条

[41]

测量方法及其测量系统 [P].

陈鲁 ;

吕肃 ;

李青格乐 ;

张嵩 .

中国专利 :CN110940267A ,2020-03-31

[42]

多点感应测量系统及其测量方法 [P].

李黎 .

中国专利 :CN103356198A ,2013-10-23

[43]

双边错位差动共焦测量方法 [P].

赵维谦 ;

邱丽荣 ;

王允 .

中国专利 :CN104568390A ,2015-04-29

[44]

自准直式共焦透镜焦距测量方法 [P].

邱丽荣 ;

张鑫 ;

杨佳苗 ;

赵维谦 ;

李志刚 .

中国专利 :CN102589852B ,2012-07-18

[45]

基于光谱共焦测量系统重叠信号分解的厚度测量方法 [P].

王廷煜 ;

王之一 ;

王建立 ;

糜小涛 ;

杨永强 .

中国专利 :CN116538934B ,2025-08-19

[46]

共焦测量系统的多孔盘 [P].

张琥杰 ;

张和君 ;

刘怡 ;

章智伟 .

中国专利 :CN116744123B ,2024-01-23

[47]

共焦抛物面顶点曲率半径测量方法 [P].

邱丽荣 ;

杨佳苗 ;

赵维谦 ;

沈阳 ;

蒋宏伟 ;

徐鹏 .

中国专利 :CN103471524B ,2013-12-25

[48]

双边错位差动共焦曲率半径测量方法 [P].

赵维谦 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN109990733A ,2019-07-09

[49]

横向相减差动共焦镜组间隙测量方法 [P].

王允 ;

邱丽荣 ;

赵维谦 .

中国专利 :CN109883342B ,2019-06-14

[50]

测量光学系统参数的测量装置及其测量方法 [P].

刘国淦 ;

蔡燕民 .

中国专利 :CN101226344B ,2008-07-23

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